용어검색/반도체측정량Measurand팩별 설명반도체 수율·불량 L1반도체 계측·검사 L1반도체 소재 L1반도체 공정 L2반도체 테스트 L2반도체 계측·검사 L2측정량은 측정하려는 특성을 조건과 범위까지 포함해 구체적으로 정의한 것이다.정의 복사관련 학습 ↓설명같은 CD라도 상부 폭·바닥 폭·평균 폭은 다르고, 같은 두께라도 광학적 등가와 물리 단면 두께가 다를 수 있다.CD임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.용어 상세 ↗예시두 장비가 다른 높이의 폭을 읽었다면 수치 차이를 곧바로 교정 오차로 볼 수 없다.구분대상을 같게 정의한 뒤 장비값을 비교한다.함께 배우는 용어임계 치수↗임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.열산화↗열산화는 높은 온도에서 산화제가 실리콘과 반응하여 산화막을 성장시키는 공정이다.반사 방지막↗반사 방지막은 기판 반사로 인한 광학 간섭과 패턴 왜곡을 줄이기 위해 사용하는 층이다.이전 용어← 시간 의존 절연 파괴다음 용어반복성 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개