다층막 모델
Multilayer film model
다층막 모델은 시료를 여러 재료층과 경계의 조합으로 표현하여 광학 응답을 계산하는 모델이다.
설명
층의 순서·두께·광학상수·표면 거칠기 표현을 정한다. 실제 구조에 없는 층을 넣거나 필요한 층을 빼면 다른 변수의 추정값이 달라질 수 있다.
예시
표면 산화층을 포함한 총두께와 아래 기능막만의 두께를 구분한다. 단면 결과와 광학 결과가 다르면 어떤 층까지 포함했는지 먼저 비교한다.
구분
층 이름과 경계를 명시해야 다른 방법의 두께와 비교할 수 있다.