핵생성 지연
Nucleation delay
핵생성 지연은 초기 표면에서 정상적인 막 성장이 시작되기까지 성장량이 작거나 불균일한 구간이다.
설명
반응자리·표면 종결·오염·기판 재료가 초기 흡착과 섬 형성에 영향을 준다. 매우 얇은 막에서는 이 구간이 전체 두께와 연속성을 크게 좌우한다.
예시
두 기판에 같은 사이클을 적용했는데 두께가 다르면 장비 유량만 의심하지 않는다. 초기 표면 상태와 정상 성장 기울기를 분리해 본다.
구분
초기 계면의 문제를 정상 보정으로만 해결하지 않는다.