사이클당 성장량
Growth per cycle
GPC
사이클당 성장량은 반복 사이클 하나당 증가한 평균 막두께다.
설명
정상 성장 구간에서 두께 증가가 선형이면 두께 변화량을 사이클 수 변화량으로 나눠 구한다. 초기 을 포함한 단순 총두께 나누기는 다른 값을 줄 수 있다.
예시
정상 구간 GPC가 0.10 nm/cycle이면 50사이클 추가는 5 nm 증가로 예상한다. 초기 지연이나 조성 전이가 없다는 가정이 필요하다.
구분
GPC는 정의한 성장 구간과 계측 모델을 함께 기록한다.