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단일 요인 변경의 한계

One-factor-at-a-time limitation

OFAT

단일 요인 변경은 나머지 조건을 고정하고 한 요인만 바꾸는 비교 방식이다.

설명

국소 원인 확인에는 유용하지만 한 기준점에서만 실행하면 과 넓은 영역의 곡률을 놓칠 수 있다. 비교 목적에 맞는 조합 시험이 필요할 때가 있다.

상호작용

상호작용은 한 요인의 효과가 다른 요인의 수준에 따라 달라지는 관계다.

B 낮음에서만 A를 바꾸면 효과 4를 관측하지만 B 높음에서 효과 8인 사실은 알 수 없다. 한 번의 단일 요인 시험을 전체 공정창에 일반화하지 않는다.

한 조건에서 원인을 나누는 시험과 영역 전체를 모델링하는 시험은 다르다.

상호작용은 한 요인의 효과가 다른 요인의 수준에 따라 달라지는 관계다.

면저항은 얇은 도전막의 면내 저항 특성이며, 균일한 연속막에서는 비저항을 두께로 나눈 값으로 표현된다.

식각 선택비는 특정 조건에서 목표막 제거 속도를 기준막 제거 속도로 나눈 비율이다.