면저항과 비저항
Sheet resistance and resistivity
면저항Rs
면저항은 얇은 도전막의 면내 저항 특성이며, 균일한 연속막에서는 비저항을 두께로 나눈 값으로 표현된다.
설명
Rₛ=ρ/t이므로 면저항 증가가 두께 감소 때문인지 비저항 증가 때문인지 분리해야 한다. 미세구조·불순물·불연속성은 비저항 또는 단순 모델의 유효성을 바꾼다.
예시
가상 연속막에서 ρ=2×10⁻⁸ Ω·m, t=20 nm이면 Rₛ=1 Ω/□다. 두께가 같아도 조성·구조 변화로 저항이 달라질 수 있다.
구분
전기값을 두께의 대리 지표로 쓰기 전에 재료 상태의 불변성을 확인한다.