플라즈마 ALD의 절충
Plasma-enhanced ALD trade-off
PEALD
플라즈마 는 활성종을 이용해 표면 반응을 돕는 방식으로, 낮은 온도 반응성과 손상·수송 사이의 절충이 있다.
설명
라디칼은 경로에서 재결합하거나 표면에서 소모될 수 있고 이온은 방향성·에너지로 손상을 줄 수 있다. 원격 플라즈마라도 모든 구조에 동일한 활성종이 도달하지는 않는다.
예시
평면 막 품질 개선이 깊은 구조 피복이나 민감한 하부층의 손상 개선까지 뜻하지 않는다. 반응성·전달·손상 지표를 함께 본다.
구분
활성화의 이득을 실제 구조와 하부 재료 조건에서 확인한다.