플라즈마 강화 CVD
Plasma-enhanced CVD
PECVD
강화 인 PECVD는 플라즈마로 생성한 반응성 종을 이용하여 박막 형성을 돕는 CVD 방식이다.
설명
열만 사용하는 경로보다 낮은 기판 온도에서 반응을 진행시킬 수 있지만 이온·수소·막 밀도·응력의 영향도 고려해야 한다.
예시
열에 민감한 아래층이 있어 PECVD를 선택해도 손상이나 후속 열처리 수축을 별도로 확인한다.
구분
낮은 공정 온도를 낮은 모든 종류의 손상과 동일시하지 않는다.