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박막 응력

Thin-film stress

팩별 설명

박막 응력은 막 내부 및 기판과의 상호작용으로 생기는 인장 또는 압축 상태다.

설명

성장 중 구조와 열팽창 차이가 응력에 기여하며 막 두께가 증가하면 휨·박리 위험도 달라진다. 응력의 부호만으로 좋고 나쁨을 결정할 수 없다.

같은 평균 두께에서 웨이퍼 휨이 바뀌면 조성·온도 이력·응력 균일도를 함께 대조한다.

두께·응력·접착을 묶어 적합한 를 찾는다.

공정 윈도우

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.