압력 조정기
Pressure regulator
압력 조정기는 상류 압력이 변해도 하류에 적절한 공급압을 제공하도록 압력을 낮추거나 유지하는 장치다.
설명
가스 용기의 압력과 입구의 요구 압력은 다를 수 있다. 조정기는 공급압을 다루며 그 자체가 목표 질량 유량을 정밀 유지하는 MFC와 같지는 않다.
예시
하류에서 요구 유량이 커질 때 공급압이 떨어지면 의 제어 여유가 부족해질 수 있다. 유량 부족을 센서 문제로만 보지 않는다.
구분
공급압이 확보되어야 유량 제어도 제 역할을 한다.