MFC
Mass Flow Controller
질량 유량 제어기
MFC는 질량 유량 제어기로, 유량을 측정하고 내부 밸브를 조절해 설정한 유량에 가깝게 유지한다.
설명
센서·제어부·밸브가 한 제어 고리를 만든다. 측정 방식과 가스 보정, 입출구 압력 조건, 유량 범위에 따라 실제 성능이 달라진다.
예시
설정값 100과 측정값 100이 보여도 잘못된 가스 보정이 적용되면 실제 공급량이 기대와 다를 수 있다. 가스 ID와 장치 설정까지 확인한다.
구분
MFC의 숫자는 장치 구성과 유효 사용 조건 안에서 해석한다.