전사 영향
Printability
전사 영향은 마스크의 이상이 정해진 노광 조건에서 패턴에 어떤 변화를 만드는지를 뜻한다.
설명
마스크 결함의 크기만이 아니라 주변 패턴·조명·초점·노광 조건이 영향을 준다. 마스크 영상에서 보이는 정도와 인쇄 결과는 같지 않을 수 있다.
예시
작게 보이는 결함도 민감한 패턴 경계에 있으면 중요할 수 있다. 반대로 보이는 후보가 모든 노광 조건에서 치명적인 것은 아니므로 검증된 기준으로 평가한다.
구분
마스크 결함의 중요도는 실제 전사 조건과 연결해 판단한다.