공정 배기와 제해
Process exhaust and abatement
어베이트먼트abatement공정 배기와 처리
공정 배기는 반응 가스·부산물을 제거하는 경로이고, 제해 설비는 배출 성분을 적합한 방식으로 저감·처리한다.
설명
펌프·배관·제해 장치의 저항과 상태가 공정 압력 및 안전 운전 조건에 영향을 준다. 특정 화학물과 부산물에 맞는 처리 방식·재질·운전 범위가 필요하다.
예시
제해 장치 경보를 공정 챔버 밖의 문제라고 무시하지 않는다. 공정 정상과 배출가스 제해 안전은 함께 충족해야 하는 운전 조건이다.
구분
배기와 제해는 생산 장비 뒤에 붙은 선택 기능이 아니다.