용어검색/반도체공정 계보Process genealogy공정 계보는 웨이퍼와 로트가 거친 재료·장비·챔버·레시피·시간·재작업의 연결 이력이다.정의 복사관련 학습 ↓설명최종 불량 집단과 공통 처리 이력을 연결하면 영향 범위와 후보를 좁힐 수 있다. 이력 누락이나 제품 혼합은 잘못된 공통점을 만들 수 있다.예시불량 로트가 같은 챔버를 썼더라도 정상 로트의 사용 여부와 제품 차이도 비교한다.구분불량 집단의 공통점과 정상 대조군의 차이를 함께 찾는다.함께 배우는 용어공정 통합↗공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.공정 윈도우↗공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.산화 응력↗산화 응력은 산화에 따른 부피 변화와 주변 구조의 구속으로 생기는 기계적 응력이다.이전 용어← 파라메트릭 수율다음 용어공통 이력 분석 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개