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표면 준비

Surface preparation

표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.

설명

입자 수가 같아도 산화막·유기물·수분 상태가 다르면 핵생성과 접착이 달라질 수 있다. 세정 완료는 표면의 모든 성질이 동일하다는 뜻이 아니다.

금속 접촉 전에는 절연성 잔류막이, 산화막 성장 전에는 이 특히 문제일 수 있다.

금속 오염

금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.

후속 공정이 요구하는 표면 상태를 먼저 정의한다.

금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.