공정압
Process pressure
공정압은 실제 공정 가스와 반응 조건에서 유지하는 챔버 압력이다.
설명
공정 중에는 의도적으로 가스를 공급하므로 보다 압력이 높을 수 있다. 기저압이 좋다는 사실이 가스 주입 중 압력 제어까지 보장하지는 않는다.
예시
배기는 정상인데 반응 단계 압력만 흔들리면 가스 공급·압력 제어·반응 부하를 구분해 본다. 두 구간을 같은 허용값으로 판정하지 않는다.
구분
비교하는 압력이 어느 운전 단계에서 측정되었는지 먼저 확인한다.