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공정 경로

Process route

팩별 설명

공정 경로는 제품이 거치는 공정 단계와 순서의 정의다.

설명

같은 장비를 사용했어도 단계와 목적이 다르면 영향이 다르다. 으로 같은 단계를 여러 번 거친 경우도 구분한다.

재작업

재작업은 제품을 승인된 요구사항에 맞추기 위해 정해진 공정을 다시 또는 추가로 수행하는 활동이다.

세정 장비 사용 이력만 모으면 초기 세정과 최종 세정이 섞일 수 있다. 공정 단계 ID와 처리 시도 번호를 함께 연결한다.

장비 이력에는 어느 공정에서 사용했는지가 필요하다.

재작업은 제품을 승인된 요구사항에 맞추기 위해 정해진 공정을 다시 또는 추가로 수행하는 활동이다.

누설전류는 의도적으로 차단하거나 절연해야 하는 경로로 흐르는 전류다.

공정 모니터 구조는 공정 결과의 특성을 측정하기 위해 설계한 별도의 소자나 패턴이다.