복사 온도계
Pyrometer
파이로미터
복사 온도계는 물체에서 나온 특정 파장대의 복사를 이용해 비접촉으로 온도를 추정하는 센서다.
설명
창 오염·광학 경로·배경 복사· 보정이 추정에 영향을 준다. 센서가 실제로 보는 위치가 웨이퍼인지 지지체인지도 중요하다.
예시
같은 표면 조건에서 기준 계측과 비교하고, 창 투과율과 광학 정렬을 확인한다. 신호가 줄었다는 이유로 가열 출력을 즉시 올리면 실제 과열을 만들 수 있다.
구분
센서값을 해석할 때 관측 대상과 광학 경로를 함께 기록한다.