열전대와 접촉 오차
Thermocouple and contact error
열전대
열전대는 서로 다른 금속 접합의 열기전력으로 온도를 측정하며, 접촉·열용량 때문에 측정 대상과 차이가 생길 수 있다.
설명
접촉부가 열을 빼앗거나 센서 반응이 늦으면 급격한 가열에서 실제 변화를 늦게 읽는다. 접점 위치·고정 방식도 비교 결과를 바꾼다.
예시
열전대가 있으므로 무조건 실제 웨이퍼 온도라고 판단하지 않는다. 기준용 웨이퍼와 제품 웨이퍼의 열적 차이 및 계측 를 고려한다.
구분
접촉 계측도 관측 경로와 응답시간을 가진다.