복사 가열
Radiative heating
복사 가열은 전자기파로 에너지가 전달되어 물체의 온도를 높이는 방식이다.
설명
(RTP) 등에서 램프를 이용할 때, 램프 세기뿐 아니라 웨이퍼가 흡수하는 비율·반사·주변 구조가 가열량을 바꾼다. 같은 램프 출력에서도 막 재료와 뒷면 상태에 따라 열 응답이 달라질 수 있다.
예시
히터 출력이 같다는 조건만으로 웨이퍼 온도를 같다고 가정하지 않는다. 광학적 상태와 지지 구조를 포함해 비교한다.
구분
입사 에너지와 흡수 에너지는 구분해야 한다.