흡착 해제와 잔류 전하
Dechucking and residual charge
흡착 해제는 정전 인력을 줄여 웨이퍼를 안전하게 분리하는 과정이며, 잔류 전하는 해제를 지연시킬 수 있다.
설명
전원을 내렸다고 즉시 모든 전하가 사라지는 것은 아니다. 재료·온도·플라즈마 이력에 따라 잔류 인력이 남으면 이송 과정에서 파손 위험이 생긴다.
예시
승인된 해제 확인과 장비 순서를 따른다. 해제 시간이 늘었다면 힘으로 분리하지 않고 전기적 이력·부품 상태를 조사하도록 전달한다.
구분
전원 꺼짐과 기계적으로 안전한 해제 완료는 같은 상태가 아니다.