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RF 전원

Radio-frequency power generator

RF 전원은 고주파 전기 에너지를 제공해 를 만들거나 전극의 전기적 조건을 제어하는 장치다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

설명

주파수·전력·펄스 방식은 가스와 장비 구조에 맞춰 선택된다. 많이 쓰이는 주파수가 있어도 모든 장비가 같은 주파수와 결합 방식을 사용하는 것은 아니다.

같은 500 W 설정도 전력 전달 손실과 챔버 부하가 다르면 실제 흡수 상태가 다를 수 있다. 명판 전력만으로 두 장비의 공정을 같게 두지 않는다.

설정 전력에서 실제 부하까지 이어지는 전달 경로를 본다.

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

FOUP는 전면 문을 통해 웨이퍼를 넣고 꺼내는 운반·보관용 용기로, 300 mm 웨이퍼 환경에서 널리 쓰인다.

로드 포트는 웨이퍼 캐리어가 장비에 놓이고 접속되는 입출구 모듈이다.