FOUP
Front Opening Unified Pod
FOUP는 전면 문을 통해 를 넣고 꺼내는 운반·보관용 용기로, 300 mm 웨이퍼 환경에서 널리 쓰인다.
설명
외부 환경 노출을 줄이고 정해진 위치로 를 제공한다. 용기 ID와 그 안의 웨이퍼·로트 ID는 서로 다른 정보다.
예시
같은 FOUP에 다른 로트가 담길 수 있으므로 용기 번호만으로 제품을 확정하지 않는다. 다른 크기나 공정은 다른 캐리어를 사용할 수 있다.
구분
FOUP는 제품 자체가 아니라 제품을 보호하고 운반하는 용기다.