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체계적 결함

Systematic defect

팩별 설명

체계적 은 특정 형상·위치·조건과 연결되어 반복되는 경향이 있는 결함이다.

결함

결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.

설명

취약한 패턴, 노광 영역, 공정 비균일 등이 을 만들 수 있다. 반복 모양 자체가 특정 장비의 유죄 증거는 아니다.

반복성

반복성은 같은 조건에서 같은 대상을 반복 측정할 때 결과가 서로 가까운 정도다.

여러 다이의 같은 좁은 배선 구간에서 끊김이 반복되면 설계 형상과 패턴 전사 조건을 함께 확인한다.

이 가리키는 공통 조건을 비교 실험으로 좁힌다.

반복성

반복성은 같은 조건에서 같은 대상을 반복 측정할 때 결과가 서로 가까운 정도다.

결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.

반복성은 같은 조건에서 같은 대상을 반복 측정할 때 결과가 서로 가까운 정도다.

수율은 정해진 평가 대상 중 정해진 합격 기준을 만족한 대상의 비율이다.