주입 분포 폭
Range straggle
주입 분포 폭은 이온 정지 깊이의 통계적 퍼짐을 나타내는 값이다.
설명
단순 가우시안 근사에서 이 같으면 분포 폭이 커질수록 최대 농도는 낮아진다. 결정 이나 다층 구조에서는 이 근사가 제한된다.
예시
같은 ·비정이라도 더 넓은 분포가 더 깊은 영역에 영향을 줄 수 있다.
구분
프로파일을 한 깊이 또는 한 농도 숫자로 축약하지 않는다.
Range straggle
주입 분포 폭은 이온 정지 깊이의 통계적 퍼짐을 나타내는 값이다.
단순 가우시안 근사에서 이 같으면 분포 폭이 커질수록 최대 농도는 낮아진다. 결정 이나 다층 구조에서는 이 근사가 제한된다.
같은 ·비정이라도 더 넓은 분포가 더 깊은 영역에 영향을 줄 수 있다.
프로파일을 한 깊이 또는 한 농도 숫자로 축약하지 않는다.