재진입 공정
Re-entrant flow
re-entrant재진입
재진입 공정은 제조 경로를 따라가면서 같은 이나 공정 종류를 여러 번 다시 방문하는 흐름이다.
설명
반도체에서는 여러 층과 구조를 만들며 유사한 공정을 반복한다. 정상 의 반복 방문은 오류 수정과 다르다.
예시
OP20과 OP70에서 같은 증착 장비군을 쓰는 것은 계획된 재진입일 수 있다.
구분
같은 공정 재방문만으로 재작업이라고 단정하지 않는다.
Re-entrant flow
re-entrant재진입
재진입 공정은 제조 경로를 따라가면서 같은 이나 공정 종류를 여러 번 다시 방문하는 흐름이다.
반도체에서는 여러 층과 구조를 만들며 유사한 공정을 반복한다. 정상 의 반복 방문은 오류 수정과 다르다.
OP20과 OP70에서 같은 증착 장비군을 쓰는 것은 계획된 재진입일 수 있다.
같은 공정 재방문만으로 재작업이라고 단정하지 않는다.