용어검색/반도체라디칼Reactive radical라디칼은 홀전자를 가져 반응성이 큰 경우가 많은 화학종입니다.정의 복사관련 학습 ↓설명플라스마에서 생긴 중성 라디칼은 표면과 반응해 재료 제거에 관여할 수 있습니다. 이온과 달리 전하를 띤 입자라는 뜻은 아닙니다.플라스마플라스마는 기체에 에너지가 공급되어 전자·이온 등 하전 입자와 중성종이 함께 존재하는 상태입니다.용어 상세 ↗예시이온의 방향성 충돌과 라디칼의 화학 반응이 함께 작용할 수 있어 두 역할을 구분합니다.구분반응성과 전하의 유무를 혼동하지 않습니다.함께 배우는 용어플라스마↗플라스마는 기체에 에너지가 공급되어 전자·이온 등 하전 입자와 중성종이 함께 존재하는 상태입니다.열팽창계수↗열팽창계수는 온도가 변할 때 재료 길이 등이 상대적으로 얼마나 변하는지 나타내는 계수입니다.단결정↗단결정은 원자 배열의 규칙적인 방향이 큰 영역에 걸쳐 이어지는 결정입니다.이전 용어← 플라스마다음 용어이온 보조 식각 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개