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레시피 버전

Recipe version

팩별 설명

레시피 버전은 측정 조건과 분석 규칙이 어느 변경 상태인지 식별하는 정보이다.

설명

경계 알고리즘·광학 모델· 변경은 결과의 의미를 바꿀 수 있다. 같은 이름으로 덮어쓰면 전후 차이를 추적하기 어렵다.

검출 문턱

검출 문턱은 신호를 이상 후보로 채택할지 정하는 기준값 또는 기준 규칙이다.

검사 건수가 바뀐 날짜에 레시피가 갱신됐다면 공정 원인과 분리해 평가한다. 결과마다 실제 실행 버전을 남겨 비교 가능한 집단을 만든다.

결과 이력은 실행한 버전에 연결되어야 한다.

검출 문턱은 신호를 이상 후보로 채택할지 정하는 기준값 또는 기준 규칙이다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.