반복 실험과 반복 측정
Replication and repeated measurement
반복 실험은 같은 조건의 공정 실행을 독립적으로 다시 수행하는 것이고, 반복 측정은 같은 시료를 다시 재는 것이다.
설명
한 장을 10번 측정하면 측정 변동을 볼 수 있지만 웨이퍼 간 공정 변동을 10회 관측한 것은 아니다. 표본 수를 잘못 세면 효과의 불확실성을 과소평가한다.
예시
공정 재현성을 보려면 실제 관심 단위인 실행·웨이퍼·로트의 반복을 설계한다. 측정 반복은 그 안에서 별도 역할로 배치한다.
구분
측정 횟수와 독립 공정 표본 수를 구분한다.