해상도와 초점심도
Resolution and depth of focus
해상도는 구분 가능한 패턴 크기와, 는 허용 품질을 유지하는 초점 범위와 관련된 성능이다.
설명
단순 스케일링에서 해상도는 k₁λ/, 는 k₂λ/NA²에 비례한다. 계수는 공정·패턴 조건에 의존하며 이 식이 실제 장비 성능을 모두 결정하지는 않는다.
예시
다른 조건을 고정하고 를 20% 높이면 비는 1/1.2²≈0.694다. 미세화의 이득과 높이 제어의 부담이 함께 커진다.
구분
더 높은 해상도는 더 좁은 초점 여유를 요구할 수 있다.