초점 오차
Focus error
defocus
초점 오차는 웨이퍼의 감광면이 최적 결상면에서 벗어난 정도다.
설명
웨이퍼 휨·막 단차·척 이물· 계측·스테이지 동특성이 영향을 준다. 평균 초점이 맞아도 국부 높이 오차로 일부 패턴만 나빠질 수 있다.
예시
반복되는 국부 ·형상 이상은 높이 맵과 좌표를 맞춰 비교한다. 보정으로 초점에 따른 형상 손실을 가리지 않는다.
구분
초점은 한 설정값이 아니라 웨이퍼 표면과 광학면의 공간 관계다.
Focus error
defocus
초점 오차는 웨이퍼의 감광면이 최적 결상면에서 벗어난 정도다.
웨이퍼 휨·막 단차·척 이물· 계측·스테이지 동특성이 영향을 준다. 평균 초점이 맞아도 국부 높이 오차로 일부 패턴만 나빠질 수 있다.
반복되는 국부 ·형상 이상은 높이 맵과 좌표를 맞춰 비교한다. 보정으로 초점에 따른 형상 손실을 가리지 않는다.
초점은 한 설정값이 아니라 웨이퍼 표면과 광학면의 공간 관계다.