노광량–초점 매트릭스
Focus–exposure matrix
FEM
노광량–초점 매트릭스는 두 변수를 조합해 패턴 품질이 허용되는 영역을 찾는 실험 배치다.
설명
·프로파일·브리징·결손 조건을 함께 보아 공통으로 허용되는 영역을 정한다. 한 점의 좋은 CD가 넓은 공정창을 뜻하지 않는다.
예시
중심 조건뿐 아니라 실제 장비 변동이 들어갈 여유를 본다. 제품의 가장 민감한 패턴이 전체 창을 제한할 수 있다.
구분
최적점 하나보다 변동을 견디는 영역의 크기가 중요하다.