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결과 유효성 플래그

Result validity flag

결과 유효성 플래그는 정렬·신호·모델 적합 등 조건상 해당 결과를 사용할 수 있는지 표시하는 상태 정보이다.

설명

값이 저장됐다는 사실과 유효한 측정이라는 사실은 다르다. 실패·제외·미측정의 상태를 구분해야 통계와 자동 제어에서 잘못 쓰지 않는다.

피팅 실패인데 이전 값이 화면에 남아 있으면 새 결과로 수집될 위험이 있다. 시간과 성공 상태를 함께 확인하는 구조가 필요하다.

데이터 수집 성공과 측정 성공을 별도로 확인한다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.

측정량은 측정을 통해 값을 알고자 하는 양으로, 대상과 필요한 조건까지 포함해 정의한다.