강건한 공정창
Robust process window
강건한 공정창은 예상되는 입력·장비·재료 변동이 있어도 요구 품질을 유지하는 운용 영역이다.
설명
중심 조건의 평균만 합격하는 좁은 영역은 작은 드리프트에도 이탈할 수 있다. 입력 불확실성과 장비 사용 이력을 포함해 여유를 평가한다.
예시
평면 시료에서 넓은 창이 나와도 패턴 구조가 바뀌면 전달 한계가 달라질 수 있다. 검증한 제품·재료·장비 범위를 표시한다.
구분
운용 조건은 좋은 점 하나가 아니라 변동을 견디는 영역으로 선택한다.