설명
회사마다 직무명과 경계는 다를 수 있다. 공정장비 하드웨어 상태와 생산 가동 가능성을 지키는 역할이며 ·technician·vendor와 긴밀히 협업한다.
특정 공정 모듈의 조건과 결과를 모니터링하고, DOE·SPC·데이터 분석을 이용해 공정 안정성·품질·수율·생산성을 개선하는 엔지니어 역할.
용어 상세 ↗예시
장비 경보와 센서 를 분석해 고장 을 찾고 계획과 하드웨어 개선으로 재발을 줄인다.
관련 용어: 예방정비(PM) / / /
시간·웨이퍼 로트·웨이퍼 순서에 따라 측정이 지속적으로 증가·감소하거나 특정 방향으로 변하는 패턴.
용어 상세 ↗문제를 직접 유발하거나 재발을 가능하게 한 가장 근본적인 원인으로, 제거·통제하면 같은 문제의 반복 가능성을 낮출 수 있는 원인.
용어 상세 ↗고장이 발생하기 전에 정기적인 점검, 장비 세정, 부품 교체, 교정 등을 계획적으로 수행해 장비 신뢰성과 공정 안정성을 유지하는 정비.
용어 상세 ↗수리 가능한 장비에서 한 고장과 다음 고장 사이의 평균 운전시간을 나타내는 신뢰성 지표.
용어 상세 ↗고장이 발생한 장비를 수리해 다시 사용할 수 있는 상태로 복구하는 데 걸리는 평균시간을 나타내는 유지보수성 지표.
용어 상세 ↗특정 공정 모듈의 조건과 결과를 모니터링하고, DOE·SPC·데이터 분석을 이용해 공정 안정성·품질·수율·생산성을 개선하는 엔지니어 역할.
용어 상세 ↗구분
설비는 장비 성능과 유지보수 중심이고 는 결과와 공정조건 최적화 중심이다.
특정 공정 모듈의 조건과 결과를 모니터링하고, DOE·SPC·데이터 분석을 이용해 공정 안정성·품질·수율·생산성을 개선하는 엔지니어 역할.
용어 상세 ↗여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗