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스파이크와 소크

Spike and soak annealing

스파이크는 최고온도 부근 체류를 짧게 하는 열 이력이고 소크는 정한 온도에서 일정 시간 유지하는 열 이력이다.

설명

같은 최고온도라도 반응 누적량이 다르다. 목표 활성화와 허용 확산에 따라 적절한 경로가 달라진다.

두 조건의 이 같아도 접합 프로파일이나 결함 잔류가 다를 수 있다.

면저항

면저항은 균일한 얇은 도전막의 평면 방향 전기 저항 특성을 정사각형 기준으로 나타낸 값이다.

단일 전기 지표의 일치를 동일 열 이력의 증거로 쓰지 않는다.

면저항은 균일한 얇은 도전막의 평면 방향 전기 저항 특성을 정사각형 기준으로 나타낸 값이다.

공정 윈도우는 정한 품질 조건을 동시에 만족하는 입력변수 조합의 범위다.

금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.