급속 열처리
Rapid thermal processing
RTP
급속 열처리인 RTP는 빠른 가열과 냉각을 이용해 짧은 시간에 필요한 열적 변화를 유도하는 방식이다.
설명
장시간 고온 노출을 줄일 수 있지만 실제 온도 균일도와 램프 이력·표면 복사 특성이 중요하다. 설정 최고온도만으로 결과를 정할 수 없다.
예시
중심과 가장자리의 전기 특성이 갈리면 주입 균일도와 실제 열 분포를 각각 확인한다.
구분
공정 설정 로그와 웨이퍼의 실제 열 응답을 연결한다.