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금속 오염

Metal contamination

팩별 설명

금속 오염은 의도하지 않은 금속 성분이 표면이나 재료 내부에 존재하는 상태다.

설명

일부 금속은 실리콘 내 전기적 결함이나 누설 경로에 영향을 준다. 입자 검사에서 보이지 않는 오염도 있으므로 분석법을 구분한다.

외관이 깨끗한 웨이퍼에서 누설이 증가하면 입자 개수만 반복 측정하지 말고 해당 금속에 맞는 표면 분석을 검토한다.

검출되지 않음은 사용한 분석법의 검출한계 안에서의 결과다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.

핵심 품질 특성인 CTQ는 제품의 기능·신뢰성에 중요한 영향을 주어 관리 대상으로 정한 특성이다.