화면을 준비하고 있습니다.

서브팹

Sub-fab

서브팹은 공정 장비를 지원하는 펌프·배기 처리 등의 설비를 배치하는 하부 또는 지원 공간을 말한다.

설명

실제 배치와 층 구성은 팹마다 다르다. 공정실 밖에 있더라도 배기·안전·유지보수 상태가 결과와 장비 가동에 직접 연결된다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

장비 화면이 정상이어도 후단 처리 설비의 이 확보되지 않으면 안전하게 공정을 진행할 수 없다. 지원 설비의 준비 신호도 공정 허가 조건이다.

가용성

가용성은 정해진 기준 시간 중 장비를 요구 기능에 사용할 수 있는 시간의 비율이다.

눈에 보이는 챔버 밖에서도 공정 환경을 만드는 일이 계속된다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

가용성은 정해진 기준 시간 중 장비를 요구 기능에 사용할 수 있는 시간의 비율이다.

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.