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추적성

Traceability

팩별 설명

추적성은 제품의 식별 정보와 제조·검사·이동 이력을 따라가며 관련 기록을 연결할 수 있는 성질이다.

설명

불량이 발견된 시점에서 이전 공정과 사용 재료·장비로 거슬러 올라갈 수 있어야 한다. 요약 평균만 남기면 원인 범위가 넓어진다.

특정 챔버의 영향을 찾으려면 로트 평균뿐 아니라 각 가 어느 챔버를 언제 거쳤는지 필요하다.

웨이퍼

웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.

수율 분석의 기본 단위는 숫자와 연결된 제품 이력이다.

웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.

누설전류는 의도적으로 차단하거나 절연해야 하는 경로로 흐르는 전류다.

공정 모니터 구조는 공정 결과의 특성을 측정하기 위해 설계한 별도의 소자나 패턴이다.