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고유 식별키

Unique identifier

고유 식별키는 분석 범위에서 대상을 다른 대상과 구분하는 값 또는 값의 조합이다.

설명

다이 좌표만으로는 서로 다른 를 구분할 수 없다. 제품·로트·웨이퍼·좌표 등 필요한 범위를 함께 사용한다.

웨이퍼

웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.

서로 다른 두 의 다이 좌표 (3,5)는 별개 칩이다. 좌표만으로 합치면 결과와 공정 이력이 섞일 수 있다.

웨이퍼

웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.

키의 고유성은 해당 데이터 범위에서 검증한다.

웨이퍼는 여러 개의 반도체 다이를 한꺼번에 만드는 얇은 기판이다.

누설전류는 의도적으로 차단하거나 절연해야 하는 경로로 흐르는 전류다.

공정 모니터 구조는 공정 결과의 특성을 측정하기 위해 설계한 별도의 소자나 패턴이다.