과도 증강 확산
Transient enhanced diffusion
TED
과도 증강 확산인 TED는 주입 등으로 생긴 비평형 결함 때문에 열처리 초기의 도펀트 확산이 평형 조건보다 커지는 현상이다.
설명
시간이 지나 결함이 소멸하면 확산 거동이 달라질 수 있다. 초기 손상 상태가 다르면 같은 열 레시피에서도 프로파일이 달라진다.
예시
초기 확산이 계산보다 클 때 온도 오류 외에 과 점결함 이력을 확인한다.
구분
평형 확산계수만으로 모든 주입 후 열처리를 예측하지 않는다.