투과전자현미경
Transmission electron microscope
TEM
투과전자현미경인 TEM은 얇은 시료를 통과한 전자로 내부의 미세구조를 관찰하는 장비다.
설명
막·계면·결정 구조를 자세히 볼 수 있지만 시료가 매우 제한된 영역을 대표한다. 준비 과정의 손상과 관측 범위도 고려한다.
예시
한 비아 단면의 정상 관찰만으로 의 모든 비아가 정상이라고 말할 수 없다. 전기 이상 위치와 일치하는 시료 선택이 중요하다.
구분
깊이 있는 국소 관찰을 전체 모집단의 결론으로 과장하지 않는다.