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집속이온빔

Focused ion beam

FIB

팩별 설명

집속이온빔인 FIB는 좁게 모은 이온빔으로 시료의 특정 위치를 가공하거나 관찰하는 기술이다.

설명

부근 단면을 드러내고 얇은 분석 시료를 만드는 데 활용된다. 가공은 파괴적이며 재부착·이온 영향 같은 흔적을 만들 수 있다.

결함

결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.

비아 내부가 비어 있는지 보려면 표면 사진보다 단면이 유용하다. 단면 위치를 잘못 잡으면 을 지나쳐 정상처럼 보일 수 있다.

결함

결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.

정확한 위치 지정과 가공 이력은 단면 해석의 일부다.

결함은 재료·형상·구조 등이 의도한 상태에서 벗어난 국소적 이상이다.

로트는 제조와 추적을 위해 함께 관리하는 웨이퍼나 제품의 묶음이다.

유효 다이 수는 미리 정한 규칙에 따라 수율 계산 대상으로 삼는 다이의 개수다.