습식 세정
Wet Wafer Cleaning
Wet Clean
액체 화학액이나 에 를 담그거나 분사해 표면 과 잔류물을 제거하는 세정 방식.
설명
습식 세정은 배치 침지와 단일 분사 등 구현 방식이 다양하다는 점까지 알면 충분하다.
예시
표면에 남은 나 금속성 을 제거하기 위해 액체 기반 세정을 사용할 수 있다. 관련 용어: / /
구분
습식 세정은 액체 기반 세정 계열이고 특정 한 가지 화학 조합만을 뜻하지 않는다.
Wet Wafer Cleaning
Wet Clean
액체 화학액이나 에 를 담그거나 분사해 표면 과 잔류물을 제거하는 세정 방식.
습식 세정은 배치 침지와 단일 분사 등 구현 방식이 다양하다는 점까지 알면 충분하다.
표면에 남은 나 금속성 을 제거하기 위해 액체 기반 세정을 사용할 수 있다. 관련 용어: / /
습식 세정은 액체 기반 세정 계열이고 특정 한 가지 화학 조합만을 뜻하지 않는다.