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어베이트먼트

Abatement

배기 가스 처리

어베이트먼트는 배출되는 공정 가스와 부산물의 유해성 또는 환경 영향을 줄이기 위한 처리 계통이다.

설명

물질과 부하에 맞춰 연소··습식 처리 등을 사용할 수 있다. 펌프가 기체를 옮기는 기능과 배출물을 적합하게 처리하는 기능은 다르다.

플라스마

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

가스 종류가 바뀌면 기존 처리 계통의 적합성과 처리 용량을 확인해야 한다. 배기량이 같다는 이유로 동일한 처리 성능을 가정하지 않는다.

무엇을 얼마나 배출하는지와 어떤 방식으로 처리하는지를 연결한다.

플라스마는 전자와 이온 등 전하를 띤 입자가 중성 입자와 함께 존재하며 집단적인 전기적 거동을 보이는 상태다.

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

퍼지는 적합한 기체 흐름으로 장치나 배관의 잔류 기체를 밀어내고 희석하는 과정이다.