국소 배기
Local exhaust ventilation
국소 배기는 발생 지점 가까이에서 기체나 증기 등을 포집하여 작업 공간으로 는 것을 줄이는 설비다.
퍼지는 적합한 기체 흐름으로 장치나 배관의 잔류 기체를 밀어내고 희석하는 과정이다.
용어 상세 ↗설명
챔버 내부 을 만드는 배기 펌프와 목적·압력 범위가 다르다. 포집 경로와 실제 흐름, 감시 신호가 중요하다.
예시
진공계가 정상이어도 장비 외함의 국소 배기가 부족할 수 있다. 서로 다른 배기 계통의 준비 상태를 바꿔 해석하지 않는다.
구분
공정 압력 유지와 작업 공간의 오염 방지는 다른 기능이다.
확산은 농도 차와 열적 운동 등에 의해 원자가 재료 내부에서 이동하는 현상이다.
용어 상세 ↗