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절대압

Absolute pressure

절대압은 완전 을 기준으로 나타낸 압력이다.

진공

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

설명

반도체 공정에서는 작은 절대압을 자주 다룬다. 같은 숫자라도 기준이 다르면 실제 상태가 전혀 달라지므로 단위와 기준을 함께 읽어야 한다.

진공

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

가상 표시가 0이라고 해서 기체가 없다고 단정하지 않는다. 0은 주변 대기압과 같다는 뜻일 수 있고, 센서 표시 범위의 하한일 수도 있다.

게이지압

게이지압은 주변 대기압을 기준으로 나타낸 압력이다.

압력 숫자 앞에 기준, 뒤에 단위를 붙여 읽는다.

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.

게이지압은 주변 대기압을 기준으로 나타낸 압력이다.

반도체 공정 장비는 웨이퍼에 재료를 더하거나 제거하고 성질을 바꾸도록 정해진 환경과 동작을 만드는 시스템이다.