ALE 에너지 창
ALE energy window
플라즈마 보조 의 에너지 창은 변형층은 제거하면서 원래 벌크의 불필요한 제거는 억제하는 이온 에너지 범위다.
설명
너무 낮으면 변형층 잔류가, 너무 높으면 직접 와 손상이 커질 수 있다. 실제 에너지 분포의 폭과 꼬리도 창을 벗어날 수 있다.
예시
평균 에너지가 적합해도 분포가 넓으면 벌크 제거가 생길 수 있다. 재료별 문턱과 파형·압력의 영향을 함께 검토한다.
구분
평균값만 창 안에 넣는 것보다 분포와 표면 상태를 맞추는 것이 중요하다.