자동 반송 시스템

팹 천장 레일을 따라 이동하며 FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 장비나 자동 캐리어 저장장치 사이로 자동 운반하는 물류 장치.

FOUP 같은 캐리어를 자동으로 보관하고 필요할 때 AMHS에 다시 인계하는 팹 물류 저장 설비.

300 mm 웨이퍼를 오염으로부터 보호하면서 저장·운반하는 전면 개방형 캐리어. 자동물류 시스템과 장비 사이에서 웨이퍼 로트를 담는 대표 용기다.

FOUP 같은 캐리어를 자동으로 보관하고 필요할 때 AMHS에 다시 인계하는 팹 물류 저장 설비.

팹 천장 레일을 따라 이동하며 FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 장비나 자동 캐리어 저장장치 사이로 자동 운반하는 물류 장치.

FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 공정/계측 장비에 올려놓고 장비와 캐리어를 인계하는 표준화된 물리적 접점.

여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.

여러 WIP 웨이퍼 로트와 장비 중 무엇을 어느 장비에 언제 보내 처리할지 우선순위를 결정하는 생산 운영 로직.

팹 천장 레일을 따라 이동하며 FOUP 같은 웨이퍼 캐리어를 장비나 자동 캐리어 저장장치 사이로 자동 운반하는 물류 장치.